高効率粒子状空気(HEPA)フィルターと超低粒子状空気(ULPA)フィルターは非常に重要です クリーンルーム components. A HEPA filter しなければならない remove at least 99.97% of airborne particles 0.3 micrometers (µm) in diameter. An ULPA filter is even more efficient, removing 99.999% of particles 0.12 µm or larger. They work via a combination of interception, impaction, and diffusion.

















