(यह छवि केवल उदाहरण के लिए बनाई गई है)
उच्च दक्षता कण वायु (HEPA) और अति निम्न कण वायु (ULPA) फिल्टर अत्यंत महत्वपूर्ण हैं। क्लीनरूम components. A HEPA filter करना ही होगा remove at least 99.97% of airborne particles 0.3 micrometers (µm) in diameter. An ULPA filter is even more efficient, removing 99.999% of particles 0.12 µm or larger. They work via a combination of interception, impaction, and diffusion.
HEPA और ULPA फ़िल्टरों की प्रभावशीलता उनके सबसे अधिक प्रवेश करने वाले कण आकार (MPPS) पर उनके प्रदर्शन द्वारा निर्धारित की जाती है। HEPA फ़िल्टरों के लिए, यह आमतौर पर 0.3 µm होता है। MPPS से बड़े कण मुख्य रूप से जड़त्वीय टकराव (अपनी जड़ता के कारण तंतुओं से टकराना) और अवरोधन (वायु प्रवाह के साथ आगे बढ़ते हुए तंतुओं पर अटक जाना) द्वारा फंस जाते हैं। इसके विपरीत, बहुत छोटे कण (आमतौर पर < 0.1 µm) विसरण द्वारा फंस जाते हैं, जहाँ उनकी अनियमित ब्राउनियन गति के कारण वे फ़िल्टर तंतुओं से टकराते हैं। 0.3 µm आकार दक्षता में एक निम्नतम स्तर को दर्शाता है जहाँ इन तीनों तंत्रों में से कोई भी प्रभावी नहीं होता है, जिससे यह सबसे कठिन कण आकार बन जाता है जिसे पकड़ना मुश्किल होता है। इसलिए, किसी फ़िल्टर की रेटिंग इस MPPS पर उसके सबसे खराब प्रदर्शन पर आधारित होती है।
ULPA फ़िल्टर इस तकनीक का ही एक उन्नत रूप हैं, जिन्हें और भी कड़े संदूषण नियंत्रण के लिए डिज़ाइन किया गया है। इनका लक्ष्य लगभग 0.1-0.12 µm का MPPS होता है और ये 99.999% या उससे अधिक की दक्षता प्राप्त करते हैं। ये फ़िल्टर अनियमित रूप से व्यवस्थित बोरोसिलिकेट ग्लास फाइबर की एक सघन परत से निर्मित होते हैं। वांछित प्रदर्शन प्राप्त करने के लिए निर्माण के दौरान वायु वेग, फाइबर व्यास और पैकिंग घनत्व को सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है। क्लीनरूम में, इन फ़िल्टरों को टर्मिनल हाउसिंग में या फैन-फ़िल्टर यूनिट (FFU) के भाग के रूप में स्थापित किया जाता है, और इनकी सील अत्यंत महत्वपूर्ण होती हैं। फ़िल्टर मीडिया और सील की अखंडता को सत्यापित करने के लिए नियमित परीक्षण, जैसे कि डिस्पर्सड ऑयल पार्टिकुलेट (DOP) परीक्षण, किया जाता है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि कोई भी दूषित हवा फ़िल्टर को बायपास न करे।
HEPA और ULPA फ़िल्ट्रेशन
(यदि तिथि अज्ञात है या प्रासंगिक नहीं है, उदाहरण के लिए "द्रव यांत्रिकी", तो इसके उल्लेखनीय उद्भव का एक अनुमानित आंकड़ा प्रदान किया गया है)
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