MEMS Skalierungsgesetze beschreiben, wie sich physikalische Kräfte und Eigenschaften verändern, wenn die Abmessungen von Bauteilen auf die Mikroebene schrumpfen. Im Gegensatz zur makroskopischen Welt, die von Schwerkraft und Trägheit dominiert wird, werden Mikrodomänen von Oberflächenkräften wie der Oberflächenspannung bestimmt. Viskositätund elektrostatischen Kräften. Beispielsweise skaliert die Schwerkraft mit dem Volumen ([latex]L^3[/latex]), während die elektrostatische Kraft mit der Fläche ([latex]L^2[/latex]) skaliert und bei kleineren Größen relativ stärker wird.

















