Electrostatic actuation is a primary Verfahren for inducing motion in MEMSEs nutzt die Anziehungskraft zwischen zwei Elektroden, die durch einen dielektrischen Spalt getrennt sind, wenn eine Spannung angelegt wird. Die Kraft ist proportional zum Quadrat der Spannung und zum Kapazitätsgradienten. Gängige Bauformen sind Plattenkondensatoren für Bewegungen senkrecht zur Ebene und Kammantriebe für große Verschiebungen in der Ebene.





