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Principes de l'écoulement de l'air dans les salles blanches : Écoulement laminaire et turbulent

1960
Systèmes de flux d'air pour salles blanches démontrant les principes des flux laminaires et turbulents dans les applications de semi-conducteurs.

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Les salles blanches utilisent deux principes principaux de circulation de l'air pour contrôler la contamination. Le flux turbulent (ou non unidirectionnel) implique des flux d'air mélangés, adaptés aux classes moins strictes (ISO 6-9). Le flux laminaire (ou unidirectionnel) utilise des flux d'air parallèles à vitesse constante pour balayer les particules de l'environnement, ce qui est essentiel pour les applications de haute pureté telles que ISO 1-5, en empêchant la contamination croisée et en garantissant l'élimination rapide des particules.

The choice between turbulent and laminar airflow is a fundamental design decision in salle blanche engineering, driven by the required cleanliness level and cost constraints. Turbulent flow rooms, the more conventional design, supply HEPA-filtered air from ceiling-mounted diffusers. The air enters the room, mixes with the existing air, and removes contaminants as it exits through low-level exhausts. While effective for many applications, the random air currents can create eddies where particles may linger or settle.

In contrast, laminar flow, also known as unidirectional flow, creates a predictable, uniform movement of air. In a vertical laminar flow room, the entire ceiling is composed of HEPA or ULPA filters, and the air travels straight down to a perforated raised floor, acting like a massive, slow-moving piston that pushes particles out. This design provides the highest level of air cleanliness by minimizing the time a particle can remain airborne and preventing lateral movement of contaminants. Horizontal laminar flow systems are also used, where air moves from a filtered wall to an exhaust wall. While significantly more expensive to build and operate due to the large filter area and high air-change rates, laminar flow is non-negotiable for processes like microchip fabrication where a single sub-micron particle can destroy a device.

UNESCO Nomenclature: 2210
- Mécanique

Taper

Dispositif physique

Perturbation

Révolutionnaire

Usage

Utilisation généralisée

Précurseurs

  • principles of fluid dynamics (Bernoulli’s principle, Nombre de Reynolds)
  • development of HEPA filtration technology
  • Willis Whitfield’s invention of the modern cleanroom
  • understanding of airborne particle transport mechanisms

Applications

  • semiconductor photolithography bays
  • sterile filling lines in pharmaceutical production
  • operating theaters for sensitive surgeries
  • satellite assembly and integration facilities
  • enceintes de sécurité biologique

Brevets:

  • US3158457A

Idées d'innovations potentielles

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