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ISO 14644-1 Reinraum-Klassifizierungsnorm

1999-05-01
  • International Organization for Standardization (ISO)
Reinraumumgebung mit Luftfiltration für die Halbleiterfertigung in der Umwelttechnik.

(Abbildung dient nur zur Veranschaulichung)

ISO 14644-1 klassifiziert Reinraum Die Luftreinheit wird durch die maximal zulässige Konzentration von Partikeln in der Luft bestimmt. Die Klassifizierung von ISO 1 bis ISO 9 erfolgt nach der Formel [latex]C_N = 10^N times (frac{0,1}{D})^{2,08}[/latex], wobei [latex]C_N[/latex] die maximale Partikelkonzentration pro m³, N die ISO-Klassennummer und D die Partikelgröße in µm ist.

The ISO 14644-1 standard provides a globally recognized framework for specifying the cleanliness of air in cleanrooms and controlled environments. It replaced the widely used US Federal Standard 209E, which classified rooms as Class 100, Class 10,000, etc., based on particle counts per cubic foot. The ISO formula, [latex]C_N = 10^N \times (\frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex], establishes a logarithmic relationship between the ISO class number (N) and the maximum permitted particle concentration ([latex]C_N[/latex]) for a given particle size (D). For example, an ISO Class 5 cleanroom must not exceed 3,520 particles/m³ at a size of 0.5 µm and 293 particles/m³ at 1.0 µm. This is roughly equivalent to the old FED STD 209E Class 100.

Die Zertifizierung nach einer ISO-Klasse erfordert strenge Prüfverfahren. An mehreren, statistisch festgelegten Stellen im Raum werden Partikelzähler eingesetzt, um die Konzentration von Partikeln in der Raumluft zu messen. Der Raum muss die Konzentrationsgrenzwerte für alle spezifizierten Partikelgrößen einhalten, um die entsprechende Klassifizierung zu erhalten. Die Norm legt außerdem die Anforderungen für die Überwachung fest, um die Leistungsfähigkeit langfristig zu gewährleisten. Dieser systematische Ansatz stellt sicher, dass Reinräume weltweit direkt miteinander vergleichbar sind. Dies ist entscheidend für globale Lieferketten in Hightech-Branchen wie der Mikroelektronik und der Pharmaindustrie, wo mikroskopisch kleine Verunreinigungen zu katastrophalen Produktfehlern führen können.

UNESCO Nomenclature: 3307
- Umwelttechnik

Typ

Abstraktes System

Störung

Wesentliche

Verwendung

Weitverbreitete Verwendung

Vorläufer

  • US-Bundesstandard 209E
  • Fortschritte in der Laserpartikelzähltechnologie
  • wachsender Bedarf an Kontaminationskontrolle in der Mikroelektronik und Pharmaindustrie.
  • Entwicklung statistischer Prozesskontrollmethoden

Anwendungen

  • Halbleiterfertigung
  • pharmazeutische Herstellung
  • Biotechnologieforschung
  • Luft- und Raumfahrtmontage
  • medical device production

Patente:

NA

Potenzielle Innovationsideen

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Bezug zu: ISO 14644-1, Reinraumklassifizierung, Partikelkonzentration, Kontaminationskontrolle, Luftreinheit, ISO-Klasse, Umwelttechnik, Feinstaub.

Historischer Kontext

ISO 14644-1 Reinraum-Klassifizierungsnorm

1994
1997
1998
1999-05-01
2000
2000
2000
1993-07-22
1996
1998
1999
2000
2000
2000
2002

(wenn das Datum unbekannt oder nicht relevant ist, z. B. „Strömungsmechanik“, wird eine gerundete Schätzung seines bemerkenswerten Auftretens bereitgestellt)

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