إن الحد الأدنى لحجم الميزة الذي يمكن لنظام الطباعة الليثوغرافية الضوئية الإسقاط طباعته محدود بالحيود ويتم تقريبه بمعيار رايلي. ويُعطى البُعد الحرج (CD) بالمعادلة [latex]CD = k_1 \cdot \frac{\lambda}{NA}[/latex]، حيث [latex]\lambda[/latex] هو الطول الموجي للضوء، وNA هو الفتحة العددية للعدسة، و[latex]k_1[/latex] هو معامل مرتبط بالعملية. تتطلب السمات الأصغر أطوال موجية أقصر أو فتحات عددية أعلى.





