投影フォトリソグラフィシステムで印刷できる最小パターンサイズは回折によって制限され、レイリー基準によって近似されます。臨界寸法 (CD) は、[latex]CD = k_1 cdot frac{lambda}{NA}[/latex] で与えられます。ここで、[latex]lambda[/latex] は光の波長、NA はレンズの開口数、[latex]k_1[/latex] はプロセス関連の係数です。より小さなパターンには、より短い波長またはより高い開口数が必要です。

(画像はイメージです)
投影フォトリソグラフィシステムで印刷できる最小パターンサイズは回折によって制限され、レイリー基準によって近似されます。臨界寸法 (CD) は、[latex]CD = k_1 cdot frac{lambda}{NA}[/latex] で与えられます。ここで、[latex]lambda[/latex] は光の波長、NA はレンズの開口数、[latex]k_1[/latex] はプロセス関連の係数です。より小さなパターンには、より短い波長またはより高い開口数が必要です。
レイリー基準は、フォトリソグラフィーで使用される投影システムを含む、あらゆるイメージング システムの解像度の限界を定義する光学の基本原理です。
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レイリー基準(光学分解能)
(日付が不明または関連性がない場合、例えば「流体力学」などでは、その注目すべき出現時期の概算値が提示されます。)
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