ISO 14644-1は分類する クリーンルーム 空気清浄度は、空気中の粒子の最大許容濃度によって決まります。ISO 1 から ISO 9 までの分類は、[latex]C_N = 10^N times (frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex] の式で決定されます。ここで、[latex]C_N[/latex] は粒子の最大濃度/m³、N は ISO クラス番号、D は µm 単位の粒子サイズです。

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ISO 14644-1は分類する クリーンルーム 空気清浄度は、空気中の粒子の最大許容濃度によって決まります。ISO 1 から ISO 9 までの分類は、[latex]C_N = 10^N times (frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex] の式で決定されます。ここで、[latex]C_N[/latex] は粒子の最大濃度/m³、N は ISO クラス番号、D は µm 単位の粒子サイズです。
The ISO 14644-1 standard provides a globally recognized framework for specifying the cleanliness of air in cleanrooms and controlled environments. It replaced the widely used US Federal Standard 209E, which classified rooms as Class 100, Class 10,000, etc., based on particle counts per cubic foot. The ISO formula, [latex]C_N = 10^N \times (\frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex], establishes a logarithmic relationship between the ISO class number (N) and the maximum permitted particle concentration ([latex]C_N[/latex]) for a given particle size (D). For example, an ISO Class 5 cleanroom must not exceed 3,520 particles/m³ at a size of 0.5 µm and 293 particles/m³ at 1.0 µm. This is roughly equivalent to the old FED STD 209E Class 100.
ISOクラスの認証には、厳格な試験手順が必要です。室内の複数の統計的に決定された場所で粒子カウンターを使用して、空気中の微粒子濃度を測定します。認証を受けるには、部屋が指定されたすべての粒子サイズについて濃度制限を満たしている必要があります。この規格では、長期にわたって性能を維持するためのモニタリング要件も規定されています。このような体系的なアプローチにより、世界の異なる場所にあるクリーンルームを直接比較することが可能になります。これは、微細な汚染物質が製品の重大な故障を引き起こす可能性があるマイクロエレクトロニクスや医薬品などのハイテク産業におけるグローバルサプライチェーンにとって非常に重要です。
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ISO 14644-1 クリーンルーム分類規格
(日付が不明または関連性がない場合、例えば「流体力学」などでは、その注目すべき出現時期の概算値が提示されます。)
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