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Principi del flusso d'aria in camera bianca: Flusso laminare e turbolento

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Sistemi di flusso d'aria per camere bianche che dimostrano i principi del flusso laminare e turbolento nelle applicazioni dei semiconduttori.

Le camere bianche utilizzano due principi principali del flusso d'aria per controllare la contaminazione. Il flusso turbolento (o non unidirezionale) comporta flussi d'aria misti, adatti a classi meno severe (ISO 6-9). Il flusso laminare (o unidirezionale) utilizza flussi d'aria paralleli a velocità costante per spazzare via le particelle dall'ambiente, essenziale per le applicazioni ad alta purezza come ISO 1-5, evitando la contaminazione incrociata e garantendo una rapida rimozione delle particelle.

La scelta tra flusso d'aria turbolento e laminare è una decisione fondamentale per la progettazione. camera bianca in base al livello di pulizia richiesto e ai vincoli di costo. Le sale a flusso turbolento, il design più convenzionale, forniscono aria filtrata HEPA da diffusori montati a soffitto. L'aria entra nella stanza, si mescola con l'aria esistente e rimuove i contaminanti quando esce attraverso scarichi a basso livello. Sebbene sia efficace per molte applicazioni, le correnti d'aria casuali possono creare vortici in cui le particelle possono soffermarsi o depositarsi.

Al contrario, il flusso laminare, noto anche come flusso unidirezionale, crea un movimento d'aria prevedibile e uniforme. In una stanza a flusso laminare verticale, l'intero soffitto è composto da HEPA o filtri ULPA, e l'aria scende direttamente verso un pavimento rialzato perforato, che agisce come un enorme pistone in lento movimento che spinge le particelle verso l'esterno. Questo design offre il massimo livello di pulizia dell'aria, riducendo al minimo il tempo in cui una particella può rimanere in aria e impedendo il movimento laterale dei contaminanti. Vengono utilizzati anche sistemi a flusso laminare orizzontale, in cui l'aria si muove da una parete filtrata a una parete di scarico. Sebbene sia significativamente più costoso da costruire e gestire a causa dell'ampia superficie filtrante e degli elevati tassi di ricambio dell'aria, il flusso laminare non è indispensabile per processi come la fabbricazione di microchip, dove una singola particella submicronica può distruggere un dispositivo.

UNESCO Nomenclature: 2210
- Meccanica

Tipo

Dispositivo fisico

Interruzione

Rivoluzionario

Utilizzo

Uso diffuso

Precursori

  • principi di fluidodinamica (principio di Bernoulli, Numero di Reynolds)
  • sviluppo della tecnologia di filtrazione HEPA
  • L'invenzione della moderna camera bianca da parte di Willis Whitfield
  • comprensione dei meccanismi di trasporto delle particelle trasportate dall'aria

Applicazioni

  • baie di fotolitografia per semiconduttori
  • Linee di riempimento sterili nella produzione farmaceutica
  • sale operatorie per interventi sensibili
  • impianti di assemblaggio e integrazione dei satelliti
  • cabine di sicurezza biologica

Brevetti:

  • US3158457A

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