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पतली फिल्म जमाव के लिए स्पिन कोटिंग

1958
एक प्रयोगशाला तकनीशियन क्लीनरूम में पतली फिल्म जमाव के लिए स्पिन कोटिंग कर रहा है।

(यह छवि केवल उदाहरण के लिए बनाई गई है)

घुमाना कलई करना is a procedure for depositing uniform thin films onto flat substrates. An excess of a coating solution is placed on the substrate, which is then rotated at high speed. Centrifugal force spreads the solution, and solvent evaporation or curing solidifies the फिल्म, with the final thickness determined by श्यानताएकाग्रता और घूर्णन गति।

स्पिन कोटिंग प्रक्रिया चार मुख्य चरणों में विभाजित है: जमाव, स्पिन-अप, स्पिन-ऑफ, और वाष्पीकरण। जमाव चरण में, सब्सट्रेट की सतह पर कोटिंग द्रव की अतिरिक्त मात्रा डाली जाती है। स्पिन-अप चरण के दौरान, सब्सट्रेट को उसकी अंतिम, वांछित घूर्णन गति तक तेजी से त्वरित किया जाता है, जिससे अपकेंद्री बल के कारण द्रव त्रिज्यात्मक रूप से बाहर की ओर प्रवाहित होता है। इसके बाद स्पिन-ऑफ चरण आता है, जहाँ अतिरिक्त तरल पदार्थ सब्सट्रेट के किनारे से बाहर निकल जाता है, और फिल्म पतली हो जाती है। अंतिम चरण वाष्पीकरण है, जहाँ सॉल्वेंट फिल्म से वाष्पित हो जाता है, जिससे ठोस कोटिंग बच जाती है। परिणामी फिल्म की मोटाई कई कारकों पर अत्यधिक निर्भर करती है। इस प्रमुख संबंध को एम्स्ली, बोनर और पेक द्वारा मॉडल किया गया था, जिसमें यह दर्शाया गया है कि अंतिम फिल्म की मोटाई [latex]h_f[/latex], कोणीय वेग [latex]\omega[/latex] के व्युत्क्रम वर्ग-मूल, प्रारंभिक घोल सांद्रता, और विलायक वाष्पीकरण दर के अनुपाती होती है, और यह द्रव की सान्द्रता [latex]\nu[/latex] का भी फलन है। सूत्र को अक्सर [latex]h_f \propto \omega^{-1/2}[/latex] के रूप में सरल किया जाता है। इस तकनीक को इसकी सरलता, गति, और प्रयोगशाला स्तर पर कुछ नैनोमीटर से लेकर कई माइक्रोमीटर तक की मोटाई वाली अत्यधिक समान फिल्मों का उत्पादन करने की क्षमता के लिए पसंद किया जाता है। हालाँकि, यह स्वाभाविक रूप से एक बैच प्रक्रिया है और बर्बादी भरी हो सकती है, क्योंकि प्रारंभिक घोल का एक महत्वपूर्ण हिस्सा सब्सट्रेट से उछल जाता है।.

UNESCO Nomenclature: 3322
सामग्री प्रौद्योगिकी

Type

भौतिक प्रक्रिया

व्यवधान

इंक्रीमेंटल

उपयोग

व्यापक उपयोग

शगुन

  • क्रिस्टियान ह्यूजेंस द्वारा केन्द्रापसारक बल की खोज
  • development of the electric motor
  • घुलनशील पॉलिमर और फोटोरेसिस्ट का संश्लेषण
  • द्रव गतिकी और विलायक वाष्पीकरण सिद्धांतों की समझ

आवेदन

  • सूक्ष्मइलेक्ट्रॉनिक्स और अर्धचालक उपकरणों का निर्माण
  • परावर्तनरोधी परतों जैसी ऑप्टिकल कोटिंग्स का निर्माण
  • ऑर्गेनिक लाइट-एमिटिंग डायोड (ओएलईडी) का निर्माण
  • कॉम्पैक्ट डिस्क (सीडी) और डिजिटल वर्सेटाइल डिस्क (डीवीडी) का उत्पादन
  • नवीन सामग्रियों और सेंसरों के अनुसंधान और विकास

पेटेंट:

NA

संभावित नवाचार विचार

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संबंधित विषय: स्पिन कोटिंग, पतली फिल्म, निक्षेपण, सब्सट्रेट, अपकेंद्री बल, अर्धचालक, फोटोलिथोग्राफी, पॉलिमर विलयन, एकसमान कोटिंग, सामग्री विज्ञान।

ऐतिहासिक संदर्भ

पतली फिल्म जमाव के लिए स्पिन कोटिंग

1950
1950
1955
1958
1960
1960
1960
1950
1950
1955
1956
1960
1960
1960
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(यदि तिथि अज्ञात है या प्रासंगिक नहीं है, उदाहरण के लिए "द्रव यांत्रिकी", तो इसके उल्लेखनीय उद्भव का एक अनुमानित आंकड़ा प्रदान किया गया है)

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