Un método de esterilización química a baja temperatura que utiliza gas de óxido de etileno. Es eficaz para esterilizar materiales sensibles al calor y a la humedad, como plásticos, dispositivos electrónicos e instrumentos ópticos. El proceso implica la alquilación, donde el EtO altera el ADN y las proteínas de los microorganismos, impidiendo su replicación. Requiere un control minucioso de la concentración de gas, la temperatura, la humedad y el tiempo de exposición.
