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Prinzipien der Reinraumluftströmung: Laminare und turbulente Strömung

1960
Reinraum-Luftströmungssysteme zur Demonstration laminarer und turbulenter Strömungsprinzipien in Halbleiteranwendungen.

(generate image for illustration only)

In Reinräumen werden zwei primäre Luftströmungsprinzipien zur Kontaminationskontrolle eingesetzt. Die turbulente (oder ungerichtete) Strömung umfasst gemischte Luftströme und eignet sich für weniger strenge Klassen (ISO 6-9). Bei der laminaren (oder unidirektionalen) Strömung werden parallele Luftströme mit konstanter Geschwindigkeit verwendet, um Partikel aus der Umgebung zu entfernen, was für hochreine Anwendungen wie ISO 1-5 unerlässlich ist, um Kreuzkontaminationen zu verhindern und eine schnelle Partikelentfernung zu gewährleisten.

The choice between turbulent and laminar airflow is a fundamental design decision in cleanroom engineering, driven by the required cleanliness level and cost constraints. Turbulent flow rooms, the more conventional design, supply HEPA-filtered air from ceiling-mounted diffusers. The air enters the room, mixes with the existing air, and removes contaminants as it exits through low-level exhausts. While effective for many applications, the random air currents can create eddies where particles may linger or settle.

In contrast, laminar flow, also known as unidirectional flow, creates a predictable, uniform movement of air. In a vertical laminar flow room, the entire ceiling is composed of HEPA or ULPA filters, and the air travels straight down to a perforated raised floor, acting like a massive, slow-moving piston that pushes particles out. This design provides the highest level of air cleanliness by minimizing the time a particle can remain airborne and preventing lateral movement of contaminants. Horizontal laminar flow systems are also used, where air moves from a filtered wall to an exhaust wall. While significantly more expensive to build and operate due to the large filter area and high air-change rates, laminar flow is non-negotiable for processes like microchip fabrication where a single sub-micron particle can destroy a device.

UNESCO Nomenclature: 2210
- Mechanik

Typ

Physikalisches Gerät

Unterbrechung

Revolutionär

Verwendung

Weit verbreitete Verwendung

Vorläufersubstanzen

  • principles of fluid dynamics (Bernoulli’s principle, Reynolds number)
  • development of HEPA filtration technology
  • Willis Whitfield’s invention of the modern cleanroom
  • understanding of airborne particle transport mechanisms

Anwendungen

  • semiconductor photolithography bays
  • sterile filling lines in pharmaceutical production
  • operating theaters for sensitive surgeries
  • satellite assembly and integration facilities
  • biologische Sicherheitswerkbänke

Patente:

  • US3158457A

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