Product Design, Manufacturing & Innovation Resources
بيت » مبادئ تدفق الهواء في غرف الأبحاث: التدفق الصفحي والمضطرب

مبادئ تدفق الهواء في غرف الأبحاث: التدفق الصفحي والمضطرب

1960
أنظمة تدفق الهواء في غرف الأبحاث التي توضح مبادئ التدفق الصفحي والمضطرب في تطبيقات أشباه الموصلات.

(صورة تم إنشاؤها للتوضيح فقط)

تستخدم غرف التنظيف مبدأين أساسيين لتدفق الهواء للتحكم في التلوث. يتضمن التدفق المضطرب (أو غير أحادي الاتجاه) تيارات هواء مختلطة، وهو مناسب للفئات الأقل صرامة (ISO 6-9). أما التدفق الصفحي (أو أحادي الاتجاه) فيستخدم تيارات هواء متوازية ثابتة السرعة لاكتساح الجسيمات خارج البيئة، وهو ضروري للتطبيقات عالية النقاء مثل ISO 1-5، مما يمنع التلوث المتبادل ويضمن إزالة الجسيمات بسرعة.

The choice between turbulent and laminar airflow is a fundamental design decision in cleanroom engineering, driven by the required cleanliness level and cost constraints. Turbulent flow rooms, the more conventional design, supply HEPA-filtered air from ceiling-mounted diffusers. The air enters the room, mixes with the existing air, and removes contaminants as it exits through low-level exhausts. While effective for many applications, the random air currents can create eddies where particles may linger or settle.

In contrast, laminar flow, also known as unidirectional flow, creates a predictable, uniform movement of air. In a vertical laminar flow room, the entire ceiling is composed of HEPA or ULPA filters, and the air travels straight down to a perforated raised floor, acting like a massive, slow-moving piston that pushes particles out. This design provides the highest level of air cleanliness by minimizing the time a particle can remain airborne and preventing lateral movement of contaminants. Horizontal laminar flow systems are also used, where air moves from a filtered wall to an exhaust wall. While significantly more expensive to build and operate due to the large filter area and high air-change rates, laminar flow is non-negotiable for processes like microchip fabrication where a single sub-micron particle can destroy a device.

UNESCO Nomenclature: 2210
- الميكانيكا

يكتب

الجهاز المادي

الاضطراب

ثوري

الاستخدام

الاستخدام الواسع النطاق

السلائف

  • principles of fluid dynamics (Bernoulli’s principle, Reynolds number)
  • تطوير تقنية الترشيح HEPA
  • اختراع ويليس ويتفيلد لغرفة التنظيف الحديثة
  • فهم آليات انتقال الجسيمات المحمولة جواً

التطبيقات

  • حجرات الطباعة الليثوغرافية الضوئية لأشباه الموصلات
  • خطوط التعبئة المعقمة في إنتاج المستحضرات الصيدلانية
  • غرف العمليات للعمليات الجراحية الحساسة
  • مرافق تجميع وتكامل الأقمار الصناعية
  • خزائن السلامة البيولوجية

براءات الاختراع:

  • US3158457A

أفكار ابتكارات محتملة

بسبب عمليات جمع البيانات من خلال برامج الروبوت، والتي تتجاوز حاليًا 40 ألفًا يوميًا، فإن هذا المحتوى مخصص لأعضاء المجتمع فقط.
> تسجيل الدخول < أو > سجل < (مجاني 100٪) للوصول إلى هذا، وكذلك جميع المحتويات والأدوات الأخرى المقيدة.

ذات الصلة ب: التدفق الصفحي، والتدفق المضطرب، وتدفق الهواء أحادي الاتجاه، والتحكم في التلوث، وتصميم غرف الأبحاث، وديناميكيات الموائع، ومرشح HEPA، وإزالة الجسيمات.

السياق التاريخي

مبادئ تدفق الهواء في غرف الأبحاث: التدفق الصفحي والمضطرب

1959-11
1960
1960
1960
1960
1960
1960
1958
1960
1960
1960
1960
1960
1960
1960

(إذا كان التاريخ غير معروف أو غير ذي صلة، على سبيل المثال "ميكانيكا الموائع"، يتم توفير تقدير تقريبي لظهوره الملحوظ)

الصور بالحجم الكامل والتنزيلات متاحة فقط 100% مجاناً للأعضاء المسجلين.