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क्लीनरूम वायु प्रवाह के सिद्धांत: लैमिनर और टर्बुलेंट प्रवाह

1960
सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में लैमिनेर और टर्बुलेंट प्रवाह सिद्धांतों को प्रदर्शित करने वाली क्लीनरूम वायु प्रवाह प्रणालियाँ।.

(यह छवि केवल उदाहरण के लिए बनाई गई है)

क्लीनरूम संदूषण को नियंत्रित करने के लिए वायु प्रवाह के दो प्राथमिक सिद्धांतों का उपयोग करते हैं। अशांत (या गैर-एकदिशीय) प्रवाह में मिश्रित वायु धाराएँ शामिल होती हैं, जो कम सख्त श्रेणियों (आईएसओ 6-9) के लिए उपयुक्त है। लैमिनर (या एकदिशीय) प्रवाह समानांतर, स्थिर-वेग वाली वायु धाराओं का उपयोग करके वातावरण से कणों को बाहर निकालता है, जो आईएसओ 1-5 जैसे उच्च-शुद्धता अनुप्रयोगों के लिए आवश्यक है, जिससे क्रॉस-संदूषण को रोका जा सके और कणों को तेजी से हटाया जा सके।

क्लीनरूम इंजीनियरिंग में टर्बुलेंट और लैमिनर एयरफ्लो के बीच चुनाव एक मूलभूत डिज़ाइन निर्णय है, जो आवश्यक स्वच्छता स्तर और लागत संबंधी सीमाओं पर निर्भर करता है। टर्बुलेंट फ्लो वाले कमरे, जो अधिक पारंपरिक डिज़ाइन हैं, छत पर लगे डिफ्यूज़र से HEPA-फ़िल्टर की हुई हवा की आपूर्ति करते हैं। हवा कमरे में प्रवेश करती है, मौजूदा हवा के साथ मिल जाती है, और निचले स्तर के निकास के माध्यम से बाहर निकलते समय दूषित पदार्थों को हटा देती है। हालांकि यह कई अनुप्रयोगों के लिए प्रभावी है, लेकिन अनियमित वायु प्रवाह से भंवर बन सकते हैं जहां कण ठहर सकते हैं या जम सकते हैं।

इसके विपरीत, लैमिनर फ्लो, जिसे यूनिडायरेक्शनल फ्लो भी कहा जाता है, हवा की एक निश्चित और एकसमान गति उत्पन्न करता है। वर्टिकल लैमिनर फ्लो वाले कमरे में, पूरी छत HEPA या ULPA फिल्टर से बनी होती है, और हवा सीधे नीचे छिद्रित उठे हुए फर्श की ओर जाती है, जो एक विशाल, धीमी गति से चलने वाले पिस्टन की तरह काम करता है और कणों को बाहर धकेल देता है। यह डिज़ाइन हवा में कणों के रहने के समय को कम करके और दूषित पदार्थों के पार्श्व संचलन को रोककर हवा की उच्चतम स्तर की स्वच्छता प्रदान करता है। हॉरिजॉन्टल लैमिनर फ्लो सिस्टम का भी उपयोग किया जाता है, जहाँ हवा एक फिल्टर वाली दीवार से निकास दीवार की ओर बहती है। बड़े फिल्टर क्षेत्र और उच्च वायु-परिवर्तन दर के कारण निर्माण और संचालन में काफी अधिक महंगा होने के बावजूद, माइक्रोचिप निर्माण जैसी प्रक्रियाओं के लिए लैमिनर फ्लो अपरिहार्य है, जहाँ एक सब-माइक्रोन कण भी किसी उपकरण को नष्ट कर सकता है।

UNESCO Nomenclature: 2210
– मैकेनिक्स

Type

भौतिक उपकरण

व्यवधान

क्रांतिकारी

उपयोग

व्यापक उपयोग

शगुन

  • principles of fluid dynamics (Bernoulli’s principle, Reynolds number)
  • HEPA निस्पंदन प्रौद्योगिकी का विकास
  • विलिस व्हिटफील्ड द्वारा आधुनिक क्लीनरूम का आविष्कार
  • वायुजनित कणों के परिवहन तंत्र की समझ

आवेदन

  • सेमीकंडक्टर फोटोलिथोग्राफी बे
  • दवा उत्पादन में रोगाणुरहित फिलिंग लाइनें
  • संवेदनशील सर्जरी के लिए ऑपरेशन थिएटर
  • उपग्रह संयोजन और एकीकरण सुविधाएं
  • जैविक सुरक्षा कैबिनेट

पेटेंट:

  • US3158457A

संभावित नवाचार विचार

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संबंधित विषय: लैमिनर प्रवाह, टर्बुलेंट प्रवाह, एकदिशीय वायु प्रवाह, संदूषण नियंत्रण, क्लीनरूम डिजाइन, द्रव गतिकी, HEPA फिल्टर, कण निष्कासन।

ऐतिहासिक संदर्भ

क्लीनरूम वायु प्रवाह के सिद्धांत: लैमिनर और टर्बुलेंट प्रवाह

1959-11
1960
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1958
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(यदि तिथि अज्ञात है या प्रासंगिक नहीं है, उदाहरण के लिए "द्रव यांत्रिकी", तो इसके उल्लेखनीय उद्भव का एक अनुमानित आंकड़ा प्रदान किया गया है)

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