A microusinagem em massa é um processo de fabricação subtrativo que cria MEMS Estruturas são obtidas por meio da gravação seletiva em um substrato, geralmente uma lâmina de silício. Utilizam-se técnicas de gravação úmida ou seca para esculpir o material. Agentes de gravação anisotrópicos, como o hidróxido de potássio (KOH), são comuns, pois gravam diferentes planos cristalinos do silício em taxas diferentes, permitindo a criação de sulcos em V e cavidades precisas.

















