Physics of Failure (PoF) ist ein Ansatz der Zuverlässigkeitstechnik, bei dem Kenntnisse der Werkstoffkunde und der Physik genutzt werden, um die Ursachen von Ausfällen zu verstehen und zu modellieren. Anstatt sich nur auf statistische Daten vergangener Ausfälle zu stützen, konzentriert sich dieser Ansatz auf die Vorhersage von Ausfällen durch die Analyse der physikalischen Prozesse (z. B. Ermüdung, Korrosion, Kriechen), die zu Degradation und Ausfall führen.
