Die ISO-Norm 5725 definiert Genauigkeit als die Kombination von Richtigkeit und Präzision. Richtigkeit ist die Übereinstimmung des Mittelwerts einer großen Messreihe mit dem akzeptierten Referenzwert und quantifiziert den systematischen Fehler oder die Verzerrung. Präzision ist der Grad der Übereinstimmung zwischen einer Reihe von Ergebnissen, der den Zufallsfehler quantifiziert. Genauigkeit erfordert also sowohl eine hohe Richtigkeit als auch eine hohe Präzision.
