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HEPA- und ULPA-Filtration

1940
HEPA- und ULPA-Filtersystem in einem Reinraum für umwelttechnische Anwendungen.

High-Efficiency Particulate Air (HEPA) and Ultra-Low Particulate Air (ULPA) filters are critical cleanroom components. A HEPA filter must remove at least 99.97% of airborne particles 0.3 micrometers (µm) in diameter. An ULPA filter is even more efficient, removing 99.999% of particles 0.12 µm or larger. They work via a combination of interception, impaction, and diffusion.

The effectiveness of HEPA and ULPA filters is defined by their performance at their Most Penetrating Particle Size (MPPS). For HEPA filters, this is typically 0.3 µm. Particles larger than the MPPS are trapped primarily by inertial impaction (colliding with fibers due to their inertia) and interception (getting stuck on fibers as they follow the airstream). Conversely, very small particles (typically <0.1 µm) are trapped by diffusion, where their random, erratic Brownian motion causes them to collide with filter fibers. The 0.3 µm size represents a ‘valley’ in efficiency where none of these three mechanisms are dominant, making it the most difficult particle size to capture. Therefore, a filter’s rating is based on its worst-case performance at this MPPS.

ULPA-Filter sind eine Erweiterung dieser Technologie und wurden für eine noch strengere Kontaminationskontrolle entwickelt. Sie zielen auf einen MPPS von etwa 0,1–0,12 µm ab und erreichen Wirkungsgrade von 99,999 % oder mehr. Diese Filter bestehen aus einer dichten Matte zufällig angeordneter Borosilikatglasfasern. Luftgeschwindigkeit, Faserdurchmesser und Packungsdichte werden während der Herstellung präzise gesteuert, um die gewünschte Leistung zu erzielen. In einem Reinraum werden diese Filter in Terminalgehäusen oder als Teil einer Lüfter-Filter-Einheit (FFU) installiert, und ihre Dichtungen sind von entscheidender Bedeutung. Regelmäßige Tests, wie z. B. DOP-Tests (Dispersed Oil Particulate), werden durchgeführt, um die Integrität des Filtermediums und der Dichtung zu überprüfen und sicherzustellen, dass keine kontaminierte Luft den Filter umgeht.

UNESCO Nomenclature: 3307
– Environmental engineering

Typ

Physikalisches Gerät

Unterbrechung

Grundlegendes

Verwendung

Weit verbreitete Verwendung

Vorläufersubstanzen

  • Forschung zu Gasmasken im Ersten Weltkrieg
  • the Manhattan Project’s need to filter radioactive particles
  • Fortschritte in der Glasfaserherstellung
  • Verständnis der Aerosolphysik und der Brownschen Bewegung

Anwendungen

  • Reinräume für Produktion und Forschung
  • biologische Sicherheitswerkbänke
  • Operationssäle und Isolierstationen in Krankenhäusern
  • Nuklearanlagen
  • High-End-Staubsauger und Luftreiniger

Patente:

NA

Mögliche Innovationsideen

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