ISO 14644-1 分类 洁净室 空气洁净度以空气中颗粒物的最大允许浓度来衡量。该等级从 ISO 1 到 ISO 9,由公式 [latex]C_N = 10^N times (frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex] 确定,其中 [latex]C_N[/latex] 为颗粒物的最大浓度/m³,N 为 ISO 等级,D 为颗粒物粒径(单位:µm)。

(图片仅供参考)
ISO 14644-1 分类 洁净室 空气洁净度以空气中颗粒物的最大允许浓度来衡量。该等级从 ISO 1 到 ISO 9,由公式 [latex]C_N = 10^N times (frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex] 确定,其中 [latex]C_N[/latex] 为颗粒物的最大浓度/m³,N 为 ISO 等级,D 为颗粒物粒径(单位:µm)。
The ISO 14644-1 standard provides a globally recognized framework for specifying the cleanliness of air in cleanrooms and controlled environments. It replaced the widely used US Federal Standard 209E, which classified rooms as Class 100, Class 10,000, etc., based on particle counts per cubic foot. The ISO formula, [latex]C_N = 10^N \times (\frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex], establishes a logarithmic relationship between the ISO class number (N) and the maximum permitted particle concentration ([latex]C_N[/latex]) for a given particle size (D). For example, an ISO Class 5 cleanroom must not exceed 3,520 particles/m³ at a size of 0.5 µm and 293 particles/m³ at 1.0 µm. This is roughly equivalent to the old FED STD 209E Class 100.
获得 ISO 洁净室等级认证需要严格的测试程序。在洁净室内的多个经统计确定的位置使用粒子计数器来测量空气中颗粒物的浓度。洁净室必须满足所有指定粒径的浓度限值才能获得相应的等级认证。该标准还概述了长期监测以维持洁净室性能的要求。这种系统化的方法确保了世界各地洁净室的性能可以直接比较,这对于微电子和制药等高科技行业的全球供应链至关重要,因为在这些行业中,微小的污染物都可能导致灾难性的产品故障。
ISO 14644-1 无尘室分类标准
(如果日期未知或不相关,例如“流体力学”,则提供其显著出现的近似估计)
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