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» ISO 14644-1 无尘室分类标准

ISO 14644-1 无尘室分类标准

1999-05-01
  • International Organization for Standardization (ISO)
用于环境工程半导体制造的空气过滤洁净室环境。

(图片仅供参考)

ISO 14644-1 分类 洁净室 空气洁净度以空气中颗粒物的最大允许浓度来衡量。该等级从 ISO 1 到 ISO 9,由公式 [latex]C_N = 10^N times (frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex] 确定,其中 [latex]C_N[/latex] 为颗粒物的最大浓度/m³,N 为 ISO 等级,D 为颗粒物粒径(单位:µm)。

The ISO 14644-1 standard provides a globally recognized framework for specifying the cleanliness of air in cleanrooms and controlled environments. It replaced the widely used US Federal Standard 209E, which classified rooms as Class 100, Class 10,000, etc., based on particle counts per cubic foot. The ISO formula, [latex]C_N = 10^N \times (\frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex], establishes a logarithmic relationship between the ISO class number (N) and the maximum permitted particle concentration ([latex]C_N[/latex]) for a given particle size (D). For example, an ISO Class 5 cleanroom must not exceed 3,520 particles/m³ at a size of 0.5 µm and 293 particles/m³ at 1.0 µm. This is roughly equivalent to the old FED STD 209E Class 100.

获得 ISO 洁净室等级认证需要严格的测试程序。在洁净室内的多个经统计确定的位置使用粒子计数器来测量空气中颗粒物的浓度。洁净室必须满足所有指定粒径的浓度限值才能获得相应的等级认证。该标准还概述了长期监测以维持洁净室性能的要求。这种系统化的方法确保了世界各地洁净室的性能可以直接比较,这对于微电子和制药等高科技行业的全球供应链至关重要,因为在这些行业中,微小的污染物都可能导致灾难性的产品故障。

UNESCO Nomenclature: 3307
- 环境工程

类型

抽象系统

中断

重大的

用法

广泛使用

前体

  • 美国联邦标准 209E
  • 激光粒子计数技术的进步
  • 微电子和制药行业对污染控制的需求日益增长
  • 统计过程控制方法的发展

应用程序

  • 半导体制造
  • 医药制造
  • 生物技术研究
  • 航空航天组件
  • medical device production

专利:

NA

潜在创新理念

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相关内容:ISO 14644-1、洁净室分类、颗粒物浓度、污染控制、空气洁净度、ISO等级、环境工程、颗粒物。

历史背景

ISO 14644-1 无尘室分类标准

1994
1997
1998
1999-05-01
2000
2000
2000
1993-07-22
1996
1998
1999
2000
2000
2000
2002

(如果日期未知或不相关,例如“流体力学”,则提供其显著出现的近似估计)

相关发明、创新和技术原理

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