高效微粒空气过滤器 (HEPA) 和超低微粒空气过滤器 (ULPA) 至关重要 洁净室 组成部件。高效空气微粒过滤器(HEPA)必须去除至少99.97%的直径为0.3微米(µm)的空气颗粒物。超高效空气微粒过滤器(ULPA)的效率更高,可去除99.999%的直径为0.12微米或更大的颗粒物。它们的工作原理是拦截、碰撞和扩散相结合。

(图片仅供参考)
高效微粒空气过滤器 (HEPA) 和超低微粒空气过滤器 (ULPA) 至关重要 洁净室 组成部件。高效空气微粒过滤器(HEPA)必须去除至少99.97%的直径为0.3微米(µm)的空气颗粒物。超高效空气微粒过滤器(ULPA)的效率更高,可去除99.999%的直径为0.12微米或更大的颗粒物。它们的工作原理是拦截、碰撞和扩散相结合。
HEPA 和 ULPA 过滤器的有效性取决于其在最大穿透粒径 (MPPS) 下的性能。对于 HEPA 过滤器,该粒径通常为 0.3 微米。大于 MPPS 的颗粒主要通过惯性碰撞(由于惯性与纤维碰撞)和拦截(随气流运动并粘附在纤维上)被捕获。相反,极小的颗粒(通常小于 0.1 微米)则通过扩散作用被捕获,其随机、不规则的布朗运动使其与滤芯纤维碰撞。0.3 微米粒径代表了效率的“低谷”,此时上述三种机制均不占主导地位,因此是最难捕获的颗粒尺寸。因此,过滤器的额定值基于其在该 MPPS 下的最差性能。
ULPA 过滤器是该技术的延伸,旨在实现更严格的污染控制。其目标 MPPS 约为 0.1-0.12 µm,效率可达 99.999% 或更高。这些过滤器由随机排列的硼硅酸盐玻璃纤维密实垫构成。为了达到所需的性能,空气速度、纤维直径和填充密度在制造过程中均经过精确控制。在洁净室中,这些过滤器安装在终端外壳中或作为风机过滤单元 (FFU) 的一部分,其密封至关重要。需要定期进行测试,例如分散油颗粒 (DOP) 测试,以验证过滤介质和密封的完整性,确保受污染的空气不会绕过过滤器。
HEPA 和 ULPA 过滤
(如果日期未知或不相关,例如“流体力学”,则提供其显著出现的近似估计)
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