微机电系统（MEMS）

微机电系统 (微机电系统)是在微米尺度上集成了机械和电子元件的微型设备，可用于开发传感器、致动器和其他功能系统。这些系统利用先进的制造技术制造出复杂的结构，可以执行各种任务，如感知环境变化或控制机械运动。在产品设计和创新方面，微机电系统技术可提高性能、减小尺寸和重量，并能在各行各业创造出智能、互联的设备。