MEMS Les lois d'échelle décrivent comment les forces et les propriétés physiques évoluent lorsque les dimensions des dispositifs se réduisent à l'échelle micrométrique. Contrairement au monde macroscopique dominé par la gravité et l'inertie, les microdomaines sont régis par des forces de surface telles que la tension superficielle. viscositéet les forces électrostatiques. Par exemple, la force due à la gravité est proportionnelle au volume (L^3), tandis que la force électrostatique est proportionnelle à la surface (L^2), devenant relativement plus forte aux petites dimensions.











