El tamaño mínimo de las características que puede imprimir un sistema de fotolitografía por proyección está limitado por la difracción y se aproxima mediante el criterio de Rayleigh. La dimensión crítica (CD) viene dada por [latex]CD = k_1 cdot frac{lambda}{NA}[/latex], donde [latex]lambda[/latex] es la longitud de onda de la luz, NA es la apertura numérica de la lente y [latex]k_1[/latex] es un coeficiente relacionado con el proceso. Las características más pequeñas requieren longitudes de onda más cortas o aperturas numéricas más altas.





