Product Design, Manufacturing & Innovation Resources
بيت » Spin Coating for Thin Film Deposition

Spin Coating for Thin Film Deposition

1958
فني مختبر يقوم بعملية الطلاء الدوراني لترسيب الأغشية الرقيقة في غرفة نظيفة.

(صورة تم إنشاؤها للتوضيح فقط)

الدوران طلاء is a procedure for depositing uniform thin films onto flat substrates. An excess of a coating solution is placed on the substrate, which is then rotated at high speed. Centrifugal force spreads the solution, and solvent evaporation or curing solidifies the فيلم, with the final thickness determined by اللزوجةوالتركيز وسرعة الدوران.

تنقسم عملية الطلاء بالدوران إلى أربع مراحل رئيسية: الترسيب والدوران والتبخير والتبخر. في مرحلة الترسيب، يتم توزيع فائض من سائل الطلاء على سطح الركيزة. أثناء مرحلة الدوران لأعلى، يتم تسريع الركيزة بسرعة إلى سرعة الدوران النهائية المرغوبة، مما يتسبب في تدفق السائل شعاعيًا إلى الخارج بسبب قوة الطرد المركزي. تليها مرحلة الدوران، حيث يتم طرد السائل الزائد من حافة الركيزة وتخفيف الطبقة الرقيقة. والمرحلة الأخيرة هي التبخر، حيث يتبخر المذيب من الفيلم، تاركًا وراءه الطلاء الصلب. ويعتمد سمك الفيلم الناتج اعتمادًا كبيرًا على عدة معايير. وقد تم نمذجة العلاقة الرئيسية بواسطة Emslie وBonner وPeck، حيث تبين أن سمك الفيلم النهائي [latex]h_f[/latex] يتناسب مع الجذر التربيعي العكسي للسرعة الزاوية [latex] \omega[/latex]، وتركيز المحلول الأولي، ومعدل تبخر المذيب، كما أنه دالة لزوجة المائع [latex] \nu[/latex]. وغالبًا ما تُبسَّط الصيغة على الصورة [latex]h_f \propto \omega^{-1/2}[/latex]. وتُفضَّل هذه التقنية لبساطتها وسرعتها وقدرتها على إنتاج أغشية متجانسة للغاية بسماكات تتراوح بين بضعة نانومترات إلى عدة ميكرومترات على نطاق مختبري. ومع ذلك، فهي بطبيعتها عملية دفعية ويمكن أن تكون مهدرة، حيث يتم طرد جزء كبير من المحلول الأولي من الركيزة.

UNESCO Nomenclature: 3322
- تكنولوجيا المواد

يكتب

العملية الفيزيائية

الاضطراب

تزايدي

الاستخدام

الاستخدام الواسع النطاق

السلائف

  • discovery of centrifugal force by Christiaan Huygens
  • development of the electric motor
  • synthesis of soluble polymers and photoresists
  • understanding of fluid dynamics and solvent evaporation principles

التطبيقات

  • fabrication of microelectronics and semiconductor devices
  • manufacturing of optical coatings like anti-reflection layers
  • creation of organic light-emitting diodes (OLEDs)
  • production of compact discs (CDs) and digital versatile discs (DVDs)
  • research and development of novel materials and sensors

براءات الاختراع:

NA

أفكار ابتكارات محتملة

بسبب عمليات جمع البيانات من خلال برامج الروبوت، والتي تتجاوز حاليًا 40 ألفًا يوميًا، فإن هذا المحتوى مخصص لأعضاء المجتمع فقط.
> تسجيل الدخول < أو > سجل < (مجاني 100٪) للوصول إلى هذا، وكذلك جميع المحتويات والأدوات الأخرى المقيدة.

ذات صلة بما يلي: الطلاء المغزلي، والأغشية الرقيقة، والترسيب، والركيزة، وقوة الطرد المركزي، وأشباه الموصلات، والطباعة الليثوغرافية الضوئية، ومحلول البوليمر، والطلاء الموحد، وعلم المواد.

السياق التاريخي

Spin Coating for Thin Film Deposition

1950
1950
1955
1958
1960
1960
1960
1950
1950
1955
1956
1960
1960
1960
1960

(إذا كان التاريخ غير معروف أو غير ذي صلة، على سبيل المثال "ميكانيكا الموائع"، يتم توفير تقدير تقريبي لظهوره الملحوظ)

الاختراع والابتكار والمبادئ التقنية ذات الصلة

الصور بالحجم الكامل والتنزيلات متاحة فقط 100% مجاناً للأعضاء المسجلين.