بيت » Spin Coating for Thin Film Deposition

Spin Coating for Thin Film Deposition

1958
فني مختبر يقوم بالطلاء الدوراني لترسيب الأغشية الرقيقة في غرفة نظيفة.

الدوران طلاء هو إجراء لترسيب أغشية رقيقة موحدة على ركائز مسطحة. يتم وضع فائض من محلول الطلاء على الركيزة التي يتم تدويرها بعد ذلك بسرعة عالية. تعمل قوة الطرد المركزي على نشر المحلول، ويؤدي تبخر المذيب أو المعالجة إلى تصلب الفيلم، مع تحديد السماكة النهائية بواسطة اللزوجةوالتركيز وسرعة الدوران.

تنقسم عملية الطلاء بالدوران إلى أربع مراحل رئيسية: الترسيب والدوران والتبخير والتبخر. في مرحلة الترسيب، يتم توزيع فائض من سائل الطلاء على سطح الركيزة. أثناء مرحلة الدوران لأعلى، يتم تسريع الركيزة بسرعة إلى سرعة الدوران النهائية المرغوبة، مما يتسبب في تدفق السائل شعاعيًا إلى الخارج بسبب قوة الطرد المركزي. تليها مرحلة الدوران، حيث يتم طرد السائل الزائد من حافة الركيزة وتخفيف الطبقة الرقيقة. والمرحلة الأخيرة هي التبخر، حيث يتبخر المذيب من الفيلم، تاركًا وراءه الطلاء الصلب. ويعتمد سمك الفيلم الناتج اعتمادًا كبيرًا على عدة معايير. وقد تم نمذجة العلاقة الرئيسية بواسطة Emslie وBonner وPeck، حيث تبين أن سمك الفيلم النهائي [latex]h_f[/latex] يتناسب مع الجذر التربيعي العكسي للسرعة الزاوية [latex] \omega[/latex]، وتركيز المحلول الأولي، ومعدل تبخر المذيب، كما أنه دالة لزوجة المائع [latex] \nu[/latex]. وغالبًا ما تُبسَّط الصيغة على الصورة [latex]h_f \propto \omega^{-1/2}[/latex]. وتُفضَّل هذه التقنية لبساطتها وسرعتها وقدرتها على إنتاج أغشية متجانسة للغاية بسماكات تتراوح بين بضعة نانومترات إلى عدة ميكرومترات على نطاق مختبري. ومع ذلك، فهي بطبيعتها عملية دفعية ويمكن أن تكون مهدرة، حيث يتم طرد جزء كبير من المحلول الأولي من الركيزة.

UNESCO Nomenclature: 3322
- تكنولوجيا المواد

النوع

العملية الفيزيائية

الاضطراب

تزايدي

الاستخدام

الاستخدام الواسع النطاق

السلائف

  • discovery of centrifugal force by Christiaan Huygens
  • تطوير محرك كهربائي
  • synthesis of soluble polymers and photoresists
  • understanding of fluid dynamics and solvent evaporation principles

التطبيقات

  • fabrication of microelectronics and semiconductor devices
  • manufacturing of optical coatings like anti-reflection layers
  • creation of organic light-emitting diodes (OLEDs)
  • production of compact discs (CDs) and digital versatile discs (DVDs)
  • research and development of novel materials and sensors

براءات الاختراع:

NA

أفكار ابتكارات محتملة

!!مستويات !!! العضوية مطلوبة

يجب أن تكون عضوًا !!! مستويات!!! للوصول إلى هذا المحتوى.

انضم الآن

هل أنت عضو بالفعل؟ سجّل الدخول هنا
ذات صلة بما يلي: الطلاء المغزلي، والأغشية الرقيقة، والترسيب، والركيزة، وقوة الطرد المركزي، وأشباه الموصلات، والطباعة الليثوغرافية الضوئية، ومحلول البوليمر، والطلاء الموحد، وعلم المواد.

اترك تعليقاً

لن يتم نشر عنوان بريدك الإلكتروني. الحقول الإلزامية مشار إليها بـ *

متاح للتحديات الجديدة
مهندس ميكانيكي، مشروع، هندسة العمليات أو مدير البحث والتطوير
تطوير المنتج الفعال

متاح لتحدي جديد في غضون مهلة قصيرة.
تواصل معي على LinkedIn
تكامل الإلكترونيات المعدنية والبلاستيكية، التصميم مقابل التكلفة، ممارسات التصنيع الجيدة (GMP)، بيئة العمل، الأجهزة والمواد الاستهلاكية متوسطة إلى عالية الحجم، التصنيع المرن، الصناعات الخاضعة للتنظيم، شهادات CE وFDA، التصميم بمساعدة الحاسوب (CAD)، Solidworks، الحزام الأسود من Lean Sigma، شهادة ISO 13485 الطبية

نحن نبحث عن راعي جديد

 

هل شركتك أو مؤسستك متخصصة في التقنية أو العلوم أو الأبحاث؟
> أرسل لنا رسالة <

احصل على جميع المقالات الجديدة
مجاني، لا يوجد بريد عشوائي، ولا يتم توزيع البريد الإلكتروني ولا إعادة بيعه

أو يمكنك الحصول على عضويتك الكاملة -مجانًا- للوصول إلى جميع المحتويات المحظورة >هنا<

السياق التاريخي

(إذا كان التاريخ غير معروف أو غير ذي صلة، على سبيل المثال "ميكانيكا الموائع"، يتم تقديم تقدير تقريبي لظهوره الملحوظ)

الاختراع والابتكار والمبادئ التقنية ذات الصلة

انتقل إلى الأعلى

قد يعجبك أيضاً