高効率粒子状空気(HEPA)フィルターと超低粒子状空気(ULPA)フィルターは非常に重要です クリーンルーム 構成要素。HEPAフィルターは、直径0.3マイクロメートル(µm)の浮遊粒子を少なくとも99.97%除去する必要があります。ULPAフィルターはさらに効率が高く、0.12µm以上の粒子を99.999%除去します。これらのフィルターは、捕捉、衝突、拡散の組み合わせによって機能します。

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高効率粒子状空気(HEPA)フィルターと超低粒子状空気(ULPA)フィルターは非常に重要です クリーンルーム 構成要素。HEPAフィルターは、直径0.3マイクロメートル(µm)の浮遊粒子を少なくとも99.97%除去する必要があります。ULPAフィルターはさらに効率が高く、0.12µm以上の粒子を99.999%除去します。これらのフィルターは、捕捉、衝突、拡散の組み合わせによって機能します。
HEPAフィルターとULPAフィルターの有効性は、最も透過しやすい粒子サイズ(MPPS)における性能によって決まります。HEPAフィルターの場合、これは通常0.3 µmです。MPPSより大きい粒子は、主に慣性衝突(慣性によって繊維に衝突する)と遮断(気流に沿って移動する際に繊維に付着する)によって捕捉されます。一方、非常に小さな粒子(通常0.1 µm未満)は拡散によって捕捉されます。これは、粒子のランダムで不規則なブラウン運動によってフィルター繊維に衝突するためです。0.3 µmのサイズは、これら3つのメカニズムのいずれも支配的ではないため、効率が「谷」にあたり、捕捉するのが最も難しい粒子サイズとなります。したがって、フィルターの評価は、このMPPSにおける最悪のケースの性能に基づいて行われます。
ULPAフィルターは、この技術をさらに発展させたもので、より厳格な汚染制御を実現するように設計されています。目標とするMPPSは約0.1~0.12µmで、99.999%以上の効率を達成します。これらのフィルターは、ランダムに配置されたホウケイ酸ガラス繊維の高密度マットで構成されています。製造工程では、空気速度、繊維径、充填密度を精密に制御し、所望の性能を実現します。クリーンルームでは、これらのフィルターは端末ハウジング内、またはファンフィルターユニット(FFU)の一部として設置され、そのシールは非常に重要です。分散油粒子(DOP)試験などの定期的な試験を実施し、フィルター媒体とシールの完全性を検証して、汚染された空気がフィルターを迂回しないことを確認します。
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HEPAフィルターとULPAフィルター
(日付が不明または関連性がない場合、例えば「流体力学」などでは、その注目すべき出現時期の概算値が提示されます。)
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