투영식 포토리소그래피 시스템이 인쇄할 수 있는 최소 형상 크기는 회절에 의해 제한되며, 레일리 기준(Rayleigh criterion)으로 근사화됩니다. 임계 치수(CD)는 [latex]CD = k_1 cdot frac{lambda}{NA}[/latex]로 주어지며, 여기서 [latex]lambda[/latex]는 빛의 파장, NA는 렌즈의 개구수, [latex]k_1[/latex]는 공정 관련 계수입니다. 형상이 작을수록 더 짧은 파장이나 더 높은 개구수가 필요합니다.





