Un metodo di sterilizzazione chimica a bassa temperatura che utilizza gas ossido di etilene. È efficace per sterilizzare materiali sensibili al calore e all'umidità come plastica, dispositivi elettronici e strumenti ottici. Il processo prevede l'alchilazione, in cui l'EtO distrugge il DNA e le proteine dei microrganismi, impedendone la replicazione. Richiede un attento controllo della concentrazione del gas, della temperatura, dell'umidità e del tempo di esposizione.
