MEMS تصف قوانين القياس كيف تتغير القوى والخصائص الفيزيائية مع تقلص أبعاد الجهاز إلى المقياس الميكروي. وعلى عكس العالم العياني الذي تهيمن عليه الجاذبية والقصور الذاتي، فإن المجالات الميكروية تخضع لقوى سطحية مثل التوتر السطحي. اللزوجةوالقوى الكهروستاتيكية. على سبيل المثال، تتناسب قوة الجاذبية مع الحجم (L³)، بينما تتناسب القوة الكهروستاتيكية مع المساحة (L²)، وتصبح أقوى نسبيًا عند الأحجام الأصغر.





