تعتبر مرشحات الهواء الجزيئي عالي الكفاءة (HEPA) والهواء الجزيئي المنخفض للغاية (ULPA) بالغة الأهمية غرف التنظيف المكونات. يجب أن يزيل فلتر HEPA ما لا يقل عن 99.97% من الجسيمات المحمولة في الهواء التي يبلغ قطرها 0.3 ميكرومتر (ميكرومتر). أما مرشح ULPA فهو أكثر كفاءة، حيث يزيل 99.999% من الجسيمات التي يبلغ قطرها 0.12 ميكرومتر أو أكبر. وهي تعمل عن طريق مزيج من الاعتراض والانحشار والانتشار.
