Product Design, Manufacturing & Innovation Resources
» ISO 14644-1 클린룸 분류 표준

ISO 14644-1 클린룸 분류 표준

1999-05-01
  • International Organization for Standardization (ISO)
환경 공학 분야의 반도체 제조를 위한 공기 여과 기능을 갖춘 클린룸 환경.

(설명을 위한 생성된 이미지입니다)

ISO 14644-1은 분류합니다. 클린룸 공기 청정도는 공기 중 입자의 최대 허용 농도로 평가됩니다. ISO 1부터 ISO 9까지의 등급은 [latex]C_N = 10^N times (frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex] 공식으로 결정되며, 여기서 [latex]C_N[/latex]은 입자의 최대 농도/m³, N은 ISO 등급 번호, D는 입자 크기(µm)입니다.

The ISO 14644-1 standard provides a globally recognized framework for specifying the cleanliness of air in cleanrooms and controlled environments. It replaced the widely used US Federal Standard 209E, which classified rooms as Class 100, Class 10,000, etc., based on particle counts per cubic foot. The ISO formula, [latex]C_N = 10^N \times (\frac{0.1}{D})^{2.08}[/latex], establishes a logarithmic relationship between the ISO class number (N) and the maximum permitted particle concentration ([latex]C_N[/latex]) for a given particle size (D). For example, an ISO Class 5 cleanroom must not exceed 3,520 particles/m³ at a size of 0.5 µm and 293 particles/m³ at 1.0 µm. This is roughly equivalent to the old FED STD 209E Class 100.

ISO 등급 인증을 받으려면 엄격한 테스트 절차를 거쳐야 합니다. 실내의 여러 통계적으로 선정된 위치에 입자 계수기를 설치하여 공기 중 미립자 농도를 측정합니다. 인증을 획득하려면 모든 지정된 입자 크기에 대한 농도 제한 기준을 충족해야 합니다. 또한, 이 표준은 시간이 지남에 따라 성능을 유지하기 위한 모니터링 요건도 명시하고 있습니다. 이러한 체계적인 접근 방식을 통해 전 세계 어느 곳에 있는 클린룸이든 다른 곳과 직접 비교할 수 있으며, 이는 미세 오염 물질이 제품에 치명적인 결함을 초래할 수 있는 마이크로일렉트로닉스 및 제약과 같은 첨단 산업의 글로벌 공급망에 매우 중요합니다.

UNESCO Nomenclature: 3307
환경공학

유형

추상 시스템

분열

상당한

용법

널리 사용됨

전구체

  • 미국 연방 표준 209E
  • 레이저 입자 계수 기술의 발전
  • 마이크로일렉트로닉스 및 제약 분야에서 오염 제어에 대한 필요성이 증가하고 있습니다.
  • 통계적 공정 관리 방법 개발

응용 프로그램

  • 반도체 제조
  • 제약 제조
  • 생명공학 연구
  • 항공우주 조립
  • medical device production

특허:

NA

잠재적 혁신 아이디어

현재 하루 4만 건이 넘는 봇 트래픽을 차단하기 위해 이 콘텐츠는 커뮤니티 회원만 이용할 수 있습니다.
> 로그인 < 또는 >등록 < 이 콘텐츠를 비롯한 모든 제한된 콘텐츠와 도구는 (100% 무료로) 이용할 수 있습니다.

관련 항목: ISO 14644-1, 클린룸 분류, 입자 농도, 오염 제어, 공기 청정도, ISO 등급, 환경 공학, 미립자 물질.

역사적 맥락

ISO 14644-1 클린룸 분류 표준

1994
1997
1998
1999-05-01
2000
2000
2000
1993-07-22
1996
1998
1999
2000
2000
2000
2002

(날짜를 알 수 없거나 관련이 없는 경우, 예를 들어 "유체역학"의 경우, 주목할 만한 등장 시기를 대략적으로 추정하여 제공합니다.)

관련 발명, 혁신 및 기술 원칙

고화질 이미지 및 다운로드는 등록된 회원에게만 100% 무료로 제공됩니다.

> 로그인 <