고효율 미립자 공기(HEPA) 필터와 초저 미립자 공기(ULPA) 필터는 필수적입니다. 클린룸 구성 요소. HEPA 필터는 직경 0.3마이크로미터(µm)의 공기 중 입자를 최소 99.97% 제거해야 합니다. ULPA 필터는 이보다 훨씬 더 효율적이어서 0.12µm 이상의 입자를 99.999% 제거합니다. 이 필터들은 차단, 충돌 및 확산의 조합을 통해 작동합니다.

(설명을 위한 생성된 이미지입니다)
고효율 미립자 공기(HEPA) 필터와 초저 미립자 공기(ULPA) 필터는 필수적입니다. 클린룸 구성 요소. HEPA 필터는 직경 0.3마이크로미터(µm)의 공기 중 입자를 최소 99.97% 제거해야 합니다. ULPA 필터는 이보다 훨씬 더 효율적이어서 0.12µm 이상의 입자를 99.999% 제거합니다. 이 필터들은 차단, 충돌 및 확산의 조합을 통해 작동합니다.
HEPA 및 ULPA 필터의 효율성은 최대 침투 입자 크기(MPPS)에서의 성능으로 정의됩니다. HEPA 필터의 경우, MPPS는 일반적으로 0.3µm입니다. MPPS보다 큰 입자는 주로 관성 충돌(관성으로 인해 섬유와 충돌) 및 차단(공기 흐름을 따라 섬유에 달라붙음)에 의해 포집됩니다. 반대로, 매우 작은 입자(일반적으로 0.1µm 미만)는 확산에 의해 포집되는데, 이 경우 입자의 무작위적이고 불규칙적인 브라운 운동으로 인해 필터 섬유와 충돌하게 됩니다. 0.3µm 크기는 이러한 세 가지 메커니즘 중 어느 것도 지배적이지 않은 효율의 '골짜기'를 나타내며, 따라서 포집하기 가장 어려운 입자 크기입니다. 그러므로 필터의 등급은 이 MPPS에서의 최악의 성능을 기준으로 합니다.
ULPA 필터는 이러한 기술을 확장하여 더욱 엄격한 오염 제어를 위해 설계되었습니다. ULPA 필터는 0.1~0.12µm의 최대 입자 크기(MPPS)를 목표로 하며 99.999% 이상의 효율을 달성합니다. 이 필터는 무작위로 배열된 붕규산 유리 섬유의 고밀도 매트로 구성됩니다. 원하는 성능을 얻기 위해 제조 과정에서 공기 속도, 섬유 직경 및 패킹 밀도를 정밀하게 제어합니다. 클린룸에서 이 필터는 터미널 하우징 또는 팬 필터 유닛(FFU)의 일부로 설치되며, 밀봉 상태가 매우 중요합니다. 분산 오일 입자(DOP) 테스트와 같은 정기적인 테스트를 통해 필터 매체와 밀봉 상태의 무결성을 검증하고 오염된 공기가 필터를 우회하지 않도록 합니다.
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HEPA 및 ULPA 필터
(날짜를 알 수 없거나 관련이 없는 경우, 예를 들어 "유체역학"의 경우, 주목할 만한 등장 시기를 대략적으로 추정하여 제공합니다.)
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