A dimensão mínima que um sistema de fotolitografia por projeção pode imprimir é limitada pela difração e aproximada pelo critério de Rayleigh. A dimensão crítica (CD) é dada por [latex]CD = k_1 cdot frac{lambda}{NA}[/latex], onde [latex]lambda[/latex] é o comprimento de onda da luz, NA é a abertura numérica da lente e [latex]k_1[/latex] é um coeficiente relacionado ao processo. Características menores requerem comprimentos de onda mais curtos ou aberturas numéricas maiores.





